发明名称 Target aus Kobalt-Basis für Kathodenzerstäubung und Verfahren zu seiner Herstellung.
摘要
申请公布号 DE3787679(T2) 申请公布日期 1994.05.05
申请号 DE19873787679T 申请日期 1987.07.06
申请人 NIHON SHINKU GIJUTSU K.K., CHIGASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 NAKAMURA, KYUZO, INBA-GUN CHIBA-KEN, JP;OTA, YOSHIFUMI, INBA-GUN CHIBA-KEN, JP;YAMADA, TAIKI, NARITA-SHI CHIBA-KEN, JP;ISHIKAWA, MICHIO, INBA-GUN CHIBA-KEN, JP;TANI, NORIAKI UMENOSATO-RYO, INBA-GUN CHIBA-KEN, JP;HIGUCHI, YASUSHI UMENOSATO-RYO, INBA-GUN CHIBA-KEN, JP
分类号 C22F1/10;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C22F1/10
代理机构 代理人
主权项
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