| 发明名称 |
Physical vapor deposition of titanium nitride on a nonconductive substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU648781(B2) |
申请公布日期 |
1994.05.05 |
| 申请号 |
AU19910073278 |
申请日期 |
1991.01.22 |
| 申请人 |
KENNAMETAL, INC. |
发明人 |
PREM C JINDAL;DENNIS T. QUINTO |
| 分类号 |
C04B35/80;C04B41/52;C04B41/53;C04B41/89;C04B41/91;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/18;(IPC1-7):C04B35/58;C23C28/00;C23C8/36;C04B41/90 |
主分类号 |
C04B35/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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