发明名称 HIGH PURITY HYDROXY-TERMINATED PHENYL LADDER POLYSILOXANE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 KR940003887(B1) 申请公布日期 1994.05.04
申请号 KR19910000191 申请日期 1991.01.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 YAMAMOTO, SHIGEYUKI;ADACHI, HIROSHI
分类号 H01L21/768;C08G77/06;C08G77/16;C08G77/20;C08G77/22;C08G77/34;G03F7/075;H01L21/312;H01L23/522;(IPC1-7):C08G77/16;H01L21/31 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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