| 发明名称 |
Spin castable mixtures useful for making deep-UV contrast enhancement layers. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0301559(B1) |
申请公布日期 |
1994.05.04 |
| 申请号 |
EP19880112295 |
申请日期 |
1988.07.29 |
| 申请人 |
MICROSI, INC. (A DELAWARE CORPORATION) |
发明人 |
DAVID, GARY CHARLES |
| 分类号 |
G03F7/09;G03F7/095;G03F7/26;G09B9/32;H01F1/153;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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