真空吸盘

摘要

一种真空吸盘系统具有由支承在基板上并用于在基板上的真空孔与夹持在支承板310上的一个工件之间传送真空的支承板组件320—380组成的一个支承板310。支承板组件340上形成有多个在其间安置有多个较小的唇形密封341的区域内均有一个贯通相应支承板组件、以一个限定的方式传递真空的小孔。其余的支承板组件相似的形状，但亦有改变。在对夹持在支承板组件320至380上的工件机加工时，这些组件可以被切割无失去在工件上的总的真空夹持作用的危险，本说明书公开了其它各种支承板。

主权项

1、一个用于安置在一个真空吸盘系统的基板和由真空吸盘系统夹持的一个工件之间的支承板，此支承板有一片具有分别与基板和工件接触的一个背面和一个工作面的坯板；至少一个穿透坯板的孔，在使用中，孔用于在坯板的背面与工作面之间传送真空；多个弹性突起，每一个均配置在工作面上，在使用中，弹性突起以与相应的工件接触面构成的一个构成一个密封；其中的由每个弹性突起所形成的密封在其平面图中有一个封闭的形状，而且较小尺寸的密封安插于较大尺寸的密封之间。