发明名称
摘要
申请公布号 JPH0633204(B2) 申请公布日期 1994.05.02
申请号 JP19890084921 申请日期 1989.04.05
申请人 DOW CORNING 发明人 ROOREN ANDORYU HARUSUKA;KIISU UINTON MITSUSHERU;REO TAAHAI
分类号 C04B41/87;C04B41/45;C04B41/52;C04B41/89;C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C04B41/87 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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