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发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP MANUFACTURING PROCESS
摘要
申请公布号 RU2012094(C1) 申请公布日期 1994.04.30
申请号 SU19925037583 申请日期 1992.04.15
申请人 KOLOMITSKIJ NIKOLAJ G;ASTAPOV BORIS A 发明人 KOLOMITSKIJ NIKOLAJ G;ASTAPOV BORIS A
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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