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发明名称 METHOD FOR PRODUCING BORON NITRIDE LAYERS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 RU2012092(C1) 申请公布日期 1994.04.30
申请号 SU19925030558 申请日期 1992.03.04
申请人 INSTITUT NEORGANICHESKOJ KHIMII SO RAN 发明人 SMIRNOVA TAMARA P;YASHKIN IGOR L;KHRAMOVA LYUBOV V;BAKLANOV PAVEL YU;SYSOEVA NATALYA P;AMOSOV YURIJ I
分类号 H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
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