| 发明名称 |
MASS FLOW CONTROLLER FLOW RATE EXAMINATION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06119059(A) |
申请公布日期 |
1994.04.28 |
| 申请号 |
JP19920286986 |
申请日期 |
1992.09.30 |
| 申请人 |
CKD CORP |
发明人 |
SUDO YOSHIHISA;ITO MINORU |
| 分类号 |
G01F1/00;F17D3/01;G01F1/34;G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 |
主分类号 |
G01F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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