CANTILEVER TYPE DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS OF SCANNING PROBE MICROSCOPE,申请号JP19920267509-传众专利搜索

发明名称	CANTILEVER TYPE DISPLACEMENT MEASURING APPARATUS OF SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH06117818(A)	申请公布日期	1994.04.28
申请号	JP19920267509	申请日期	1992.10.06
申请人	OLYMPUS OPTICAL CO LTD	发明人	TAZAKI HIROSHI
分类号	G01B11/00;G01B21/30;G01N37/00;G01Q20/02;G01Q60/38;G01Q60/54;H01J37/28;(IPC1-7):G01B11/00	主分类号	G01B11/00
代理机构		代理人
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