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发明名称 Aerostatisches Lager.
摘要
申请公布号 DE3788331(T2) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 DE19873788331T 申请日期 1987.09.29
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OHTA, JIRO, TOKYO, JP;TOZAWA, SADAMU, USHIKU-SHI IBARAKI-KEN, JP;MATSUSHITA, KOICHI, CHIBA-KEN, JP;MARUYAMA, YUTAKA, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C14/32;C23C30/00;F16C32/06;F16C33/04;(IPC1-7):F16C32/06 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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