发明名称 Elektronisch gesteuerte Cryopumpe.
摘要
申请公布号 DE68910692(T2) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 DE1989610692T 申请日期 1989.09.12
申请人 HELIX TECHNOLOGY CORP., MANSFIELD, MASS., US 发明人 GAUDET, PETER, W., CHELMSFORD, MA 01824, US;OLSEN, DONALD, A., MILLIS, MA 02054, US;EACOBACCI, MICHAEL, J., RANDOLPH, MA 02368, US;HARVELL, JOHN, T., SUDBURY, MA 01776, US;LEPOFSKY, ROBERT, J., WELLESLEY, MA 02181, US;ROCHE, DAVID, E., NASHUA, NH 03060, US;BENDER, STEVEN, A., LIVERPOOL, NY 13090, US
分类号 F04B49/06;F04B37/08;F04B37/16;F04D19/04;F04D27/00;(IPC1-7):F04B37/08 主分类号 F04B49/06
代理机构 代理人
主权项
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