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发明名称 Schichtstruktur für eine Speicherzelle für eine dynamische Speicheranordnung mit wahlfreiem Zugriff und Herstellungsverfahren dafür.
摘要
申请公布号 DE3888632(D1) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 DE19883888632 申请日期 1988.11.11
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 EMA, TAIJI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA, 213, JP
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/10;H01L21/82 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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