发明名称 |
INTERATOMIC FORCE MICROSCOPE UNIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06117848(A) |
申请公布日期 |
1994.04.28 |
申请号 |
JP19920267060 |
申请日期 |
1992.10.06 |
申请人 |
JEOL LTD;NIPPON DENSHI ENG KK |
发明人 |
SAKAI IWAO;OKUTOMI SHOJI |
分类号 |
G01B21/30;G01Q30/02;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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