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发明名称 IC HANDLER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06118130(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920286641 申请日期 1992.10.01
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 OCHIAI TORU
分类号 B65G1/00;B65G11/20;B65G47/14;G01R31/26;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
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