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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06120490(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920267184 申请日期 1992.10.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 HAMADA AKIYOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/336;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/784;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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