发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06120354(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920270052 申请日期 1992.10.08
申请人 NEC CORP 发明人 HIRABAYASHI HIROSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/90;H01L29/784 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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