| 发明名称 |
WAFER CARRIAGE MECHANISM FOR VACUUMIZER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06120317(A) |
申请公布日期 |
1994.04.28 |
| 申请号 |
JP19920094793 |
申请日期 |
1992.03.20 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
FUJIKI OSAMU;KOIKE TOSHIO |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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