发明名称 ENVIRONMENT TESTER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06118125(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920266987 申请日期 1992.10.06
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGA KAZUHARU
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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