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发明名称 COMPOSITE THIN FILM SENSOR MODULE
摘要
申请公布号 JPH06117679(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920293723 申请日期 1992.10.06
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD;HOKURIKU ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA KATSUHISA;MURAKAWA SHINICHI;EGASHIRA YOSHIO;YOKOYAMA MITSURU;MATSUDA MINORU;ISHIYAMA ICHIRO;KATO MASAKI;NISHIDA TATSUYA
分类号 F24F11/02;G01D21/02;G01K7/16;G01N25/64;(IPC1-7):F24F11/02 主分类号 F24F11/02
代理机构 代理人
主权项
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