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发明名称
PROCESS FOR COATING WITH SILICON
摘要
<p>A thermal dehydrogenation of polysilicon granules in a fluidized bed reactor is improved by introducing a varying electromagnetic field into the reactor whereby reactor walls are coated with silicon during the dehydrogenation.</p>
申请公布号
WO1994008897(A1)
申请公布日期
1994.04.28
申请号
US1993009545
申请日期
1993.10.06
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
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