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发明名称 JIG FOR WASHING
摘要
申请公布号 JPH06120185(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920271232 申请日期 1992.10.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TABATA SHIGERU
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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