| 发明名称 |
FOREIGN MATTER INSPECTING DEVICE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06118009(A) |
申请公布日期 |
1994.04.28 |
| 申请号 |
JP19920265982 |
申请日期 |
1992.10.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HAGI TOSHIO |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
