| 发明名称 |
ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA GENERATING DEVICE AND PROCESSING METHOD USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06119994(A) |
申请公布日期 |
1994.04.28 |
| 申请号 |
JP19920293851 |
申请日期 |
1992.10.07 |
| 申请人 |
JAPAN VILENE CO LTD |
发明人 |
OGINO TAKASHI;YAMAZAKI HIROAKI;HIROSE YASUHIRO |
| 分类号 |
D04H1/4242;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/24;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 |
主分类号 |
D04H1/4242 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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