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发明名称 IIL STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING IIL STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH06120435(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920285041 申请日期 1992.09.30
申请人 SONY CORP 发明人 ARAI CHIHIRO
分类号 H01L27/082;H01L21/8226;(IPC1-7):H01L27/082 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
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