发明名称 METHOD AND APPARATUS OF ETCHING
摘要
申请公布号 JPH06120176(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920173479 申请日期 1992.06.30
申请人 ASHIDA:KK 发明人 ASHIDA TOSHIKAZU
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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