发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06120241(A) 申请公布日期 1994.04.28
申请号 JP19920292259 申请日期 1992.10.06
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 AMANO SHIGEKI
分类号 H01L21/203;H01L21/331;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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