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发明名称
摘要
申请公布号	JPH06503919(A)	申请公布日期	1994.04.28
申请号	JP19910514822	申请日期	1991.06.24
申请人		发明人
分类号	H01L21/316;H01S5/00;H01S5/20;H01S5/22;H01S5/40;(IPC1-7):H01S3/18	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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