| 发明名称 |
METHOD FOR CLEANING WORKPIECE AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06114356(A) |
申请公布日期 |
1994.04.26 |
| 申请号 |
JP19920289618 |
申请日期 |
1992.10.03 |
| 申请人 |
SUPIIDE FUAMU CLEAN SYST KK |
发明人 |
SUGAI JUNICHI |
| 分类号 |
B08B3/04;C23G5/04;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/04 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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