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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06116724(A) 申请公布日期 1994.04.26
申请号 JP19920269016 申请日期 1992.10.08
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 OGATA KIYOSHI;KIRIMURA HIROYA
分类号 C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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