发明名称 GRINDING WHEEL FOR GRINDING SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH06114745(A) 申请公布日期 1994.04.26
申请号 JP19920261511 申请日期 1992.09.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 SHIODA KATSU
分类号 B24B1/00;B24D7/18;H01L21/304;(IPC1-7):B24D7/18 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
地址