发明名称 VACUUM EVAPORATION METHOD OF CR BY ELECTRON BEAM HEATING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06116712(A) 申请公布日期 1994.04.26
申请号 JP19920270416 申请日期 1992.10.08
申请人 KOBE STEEL LTD 发明人 TERADA MAKOTO;KAWAFUKU JIYUNJI;KATO ATSUSHI;KIHARA ATSUSHI;ARAGA KUNIYASU
分类号 C23C14/14;C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/14 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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