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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06112158(A)
申请公布日期
1994.04.22
申请号
JP19920256938
申请日期
1992.09.25
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
NISHIYAMA AKIRA
分类号
H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28;H01L29/784
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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