发明名称 SEMICONDUCTOR MEASUREMENT DEVICE WITH PROBE CARD
摘要
申请公布号 JPH06109764(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920283628 申请日期 1992.09.30
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAGISHI HIROAKI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/073 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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