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发明名称 CONTACT STRUCTURE AND FORMING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06112471(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920280937 申请日期 1992.09.25
申请人 SONY CORP 发明人 ISHIDA MINORU
分类号 H01L29/41;(IPC1-7):H01L29/44 主分类号 H01L29/41
代理机构 代理人
主权项
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