发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06112448(A) |
申请公布日期 |
1994.04.22 |
申请号 |
JP19920258588 |
申请日期 |
1992.09.28 |
申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
ITATSU KAZUSHIGE |
分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/118;G06F15/60 |
主分类号 |
H01L21/82 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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