| 发明名称 |
Boîte plate de confinement d'un objet plat sous atmosphère spéciale. |
| 摘要 |
<P>La boîte permet de confiner sous atmosphère ultrapropre des objets plats (1), tels qu'une tranche de silicium, lors de ses transports entres deux points de travail ou de stockage. <BR/> Elle est principalement constituée d'un corps (2) fermé par une porte (10) et équipée d'un bloc aéraulique (20) permettant de diffuser à l'intérieur du corps (2) un flux quasiment laminaire autour de l'objet (1). <BR/> Application à la fabrication et au traitement des circuits imprimés fabriqués sur des plaques de silicium.</P>
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| 申请公布号 |
FR2697000(A1) |
申请公布日期 |
1994.04.22 |
| 申请号 |
FR19920012423 |
申请日期 |
1992.10.16 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DOCHE CLAUDE |
| 分类号 |
B65D85/00;B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):B65D81/20;B65D43/26;B65D85/58 |
主分类号 |
B65D85/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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