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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE WITH MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06112327(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920279493 申请日期 1992.09.24
申请人 SONY CORP 发明人 NEGISHI MICHIO
分类号 H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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