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发明名称 TRIMMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06112195(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920260436 申请日期 1992.09.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAWARA KATSUJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/01;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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