发明名称 MICROWAVE PLASMA APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06112141(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920280565 申请日期 1992.09.25
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 IIO KOICHI;ONO KATSUYUKI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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