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发明名称 VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06111324(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920260388 申请日期 1992.09.29
申请人 KAO CORP 发明人 KITAORI NORIYUKI;YOSHIDA OSAMU
分类号 C23C14/24;C23C14/30;G11B5/85;H01F41/20;(IPC1-7):G11B5/85 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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