| 发明名称 |
Système de manipulation et de confinement d'objets plats dans des boîtes individuelles. |
| 摘要 |
Le système selon l'invention permet de manipuler et de transférer des objets plats sous atmosphère ultrapropre sans utiliser de salles blanches. <BR/> Il comprend principalement des interfaces (5 permettant: <BR/> - d'accueillir des boites individuelles (1) contenant chacune un objet plat; <BR/> - d'ouvrir chaque boîte; et <BR/> - d'envoyer chaque objet plat dans un poste de travail (6A). <BR/> Le système se complète de tunnels (4) permettant le transfert des objets plats d'un poste de travail (6A, 6B) à un autre. <BR/> Application à la fabrication de circuits imprimés sur des plaques de silicium.
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| 申请公布号 |
FR2697003(A1) |
申请公布日期 |
1994.04.22 |
| 申请号 |
FR19920012422 |
申请日期 |
1992.10.16 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DOCHE CLAUDE |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;G11B7/26;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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