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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06112413(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920260104 申请日期 1992.09.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIGUCHI TETSUO
分类号 H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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