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经营范围
发明名称
PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号
JPH06111996(A)
申请公布日期
1994.04.22
申请号
JP19930178842
申请日期
1993.07.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
OKUNI MITSUHIRO;KUBOTA MASABUMI;NOMURA NOBORU;NAKAYAMA ICHIRO;TAMAOKI NORIHIKO
分类号
C23C14/34;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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