发明名称 FORMATION OF CONTACT PLUG
摘要
申请公布号 JPH06112155(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19920256021 申请日期 1992.09.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NIKAWA HIDEO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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