发明名称 FORMATION METHOD OF SELF-ALIGNED SINGLE- MASK CMOS/BICMOS WELL BY PLANE TOPOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH06112420(A) 申请公布日期 1994.04.22
申请号 JP19930029576 申请日期 1993.01.04
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 MEERUDATSUDO EMU MOSUREHI
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8238;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L27/092 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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