发明名称 SELEKTIVES NIEDERSCHLAGSVERFAHREN.
摘要
申请公布号 DE3689073(T2) 申请公布日期 1994.04.21
申请号 DE19863689073T 申请日期 1986.11.28
申请人 NCR INTERNATIONAL INC., DAYTON, OHIO, US 发明人 METZ, WERNER, ADAM, JR., NATICK, MA 01760, US;COLLINS, GEORGE, JOSEPH, FORT COLLINS, CO 80521, US
分类号 C23C16/04;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
主权项
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