| 发明名称 |
Semiconductor device testing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU648420(B2) |
申请公布日期 |
1994.04.21 |
| 申请号 |
AU19920019541 |
申请日期 |
1992.07.08 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
TATSUYA HASHINAGA |
| 分类号 |
G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/26;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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