| 发明名称 |
Vorrichtung zum AEtzen von Halbleiterkoerpern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1149222(B) |
申请公布日期 |
1963.05.22 |
| 申请号 |
DE1961L039782 |
申请日期 |
1961.08.15 |
| 申请人 |
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-G.M.B.H. |
发明人 |
HEUSCH DR. RER. NAT. CLEMENS-A. |
| 分类号 |
B41C1/00;C23F1/08;G01N1/32;H01L21/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B41C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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