发明名称 Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzungen.
摘要
申请公布号 DE68913898(D1) 申请公布日期 1994.04.21
申请号 DE19896013898 申请日期 1989.10.18
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIYASHITA, SATOSHI, YOKKAICHI-SHI, JP;YAMANOUCHI, AKIHIRO, YOKKAICHI-SHI, JP;NOZUE, IKUO, KOBE, JP;MIURA, TAKAO, YOKKAICHI-SHI, JP
分类号 C08G8/08;G03F7/023;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 C08G8/08
代理机构 代理人
主权项
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